Instrumentation, mesure, métrologie Microcapteurs et systèmes de détection (MSD)
L’objectif de ce cours est de présenter les outils de conception et de réalisation des composants électroniques intégrés au sens large, des capteurs, des microsystèmes, des MEMS ; les technologies de fabrication des dispositifs capteurs, en insistant sur les technologies microélectroniques et les microtechnologies. L’enseignement théorique sera appuyé dans la mesure du possible par un stage pratique en salle blanche mettant en œuvre les étapes technologiques essentielles. Le volet fiabilité comportera une sensibilisation aux méthodes de prévision et d'estimation de la fiabilité, les mécanismes de dégradation des technologies microélectroniques sous la contrainte du phénomène à détecter.